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2018年7月31日

DLC薄膜生長用復合離子電鍍裝置“SPS-2020”投放市場

1. 市場動向

為了延長金屬產品的使用壽命,提高其性能,各個產業領域均在實施涂層加工。

特別是以碳為主要成分的非晶質碳硬質膜――類金剛石碳膜(DLC)的需求不斷增加,因其耐磨損性、非粘附性、低摩擦性等特點,被廣泛應用于鋁切削用鉆頭等刀具、塑料、玻璃鏡頭、鋁零部件用模具、離合器片、活塞環等汽車零部件等,市場規模以年均10%以上的速度不斷擴大,因此DLC薄膜生長裝置的高品質化、高速化需求也隨之增長。

目前,不二越開發出可實現高品質、高速DLC薄膜生長的復合離子電鍍裝置“SPS-2020”,將投放市場。

2. “SPS-2020”的特點

(1) 通過復合薄膜生長技術提高薄膜生長品質

薄膜生長方法有兩種。一種是在真空中通過離子束轟擊薄膜生長物質的濺鍍法,另一種是在等離子中注入包含薄膜生長物質的氣體實現薄膜生長的P-CVD法,通過采用將兩種方法相融合的復合薄膜生長技術,提高硬度、膜厚等薄膜生長品質。

(2) 高速DLC薄膜生長

通過搭載兩只大電流的HCD式等離子槍,照射高密度的離子束,提高離子化率,與傳統設備相比,DLC薄膜生長速度提高到1.5倍左右,改善了生產效率。

(3) 穩定的薄膜生長品質

通過采用本公司獨自研發的等離子控制技術和最佳的機械結構,可減少所裝填的工件間的膜厚波動,確保穩定的薄膜生長品質。

3. 目標市場
? 航 空 器 領 域 鋁零部件切削用刀具、 支持高速旋轉的軸承等
? 汽 車 領 域 低摩擦性、改善油耗的滑動零部件、 混合動力電機零部件等
? 工業機械領域 機器人零部件、動力傳輸零部件等
  醫療領域、光學領域等的其他領域
4. 技術參數
? 薄膜生長有效范圍 Ø500 × 高 500mm
? 可處理的重量 200kg
? 尺 寸 寬5,000 × 長4,500 × 高3,000mm
? 支持的薄膜生長種類 DLC, TiN, AlCrN, TiAIN等
5. 發售計劃
(1) 發 售 日 2018年8月
(2) 價  格 120百萬日元(標準主機價格/不含稅)
(3) 銷售目標 年銷售6臺
6. 新商品咨詢方式

溫度控制系統事業部 企劃部 TEL:076-471-2981

以 上


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